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发明名称 A DRESSING APPARATUS FOR POLISHING PAD AND DRESSING METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060066283(A) 申请公布日期 2006.06.16
申请号 KR20040104833 申请日期 2004.12.13
申请人 SILTRON INC. 发明人 HAN, HO DUCK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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