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发明名称 SPINDLE ASSEMBLY OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060066406(A) 申请公布日期 2006.06.16
申请号 KR20040104992 申请日期 2004.12.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 NOH, WOONG PYO
分类号 H01L21/68;H01L21/205 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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