METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING A MURA DEFECT, AND METHOD OF MANUFACTURING A PHOTOMASK,申请号KR20050122423-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING A MURA DEFECT, AND METHOD OF MANUFACTURING A PHOTOMASK
摘要
申请公布号	KR20060066658(A)	申请公布日期	2006.06.16
申请号	KR20050122423	申请日期	2005.12.13
申请人	HOYA CORPORATION	发明人	YOSHIDA TERUAKI
分类号	G01N21/88;G01B11/24;G01M11/00;G01N21/956;G02F1/13;G03F1/84	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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