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发明名称 DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060064193(A) 申请公布日期 2006.06.13
申请号 KR20040102899 申请日期 2004.12.08
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 KANG, SEUNG HO
分类号 C23C14/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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