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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A CARBON-CONTAINING SILICIDE LAYER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060064403(A)
申请公布日期
2006.06.13
申请号
KR20040103242
申请日期
2004.12.08
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
RHEE, HWA SUNG;BAIK, HION SUCK;SHIN, DONG SUK;UENO TETSUJI;LEE, SEUNG HWAN;LEE, HO
分类号
H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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