发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A CARBON-CONTAINING SILICIDE LAYER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060064403(A) 申请公布日期 2006.06.13
申请号 KR20040103242 申请日期 2004.12.08
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 RHEE, HWA SUNG;BAIK, HION SUCK;SHIN, DONG SUK;UENO TETSUJI;LEE, SEUNG HWAN;LEE, HO
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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