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发明名称 Apparatus and method for fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100588660(B1) 申请公布日期 2006.06.12
申请号 KR20040081932 申请日期 2004.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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