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发明名称 PLANARIZATION APPARATUS AND METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100591160(B1) 申请公布日期 2006.06.12
申请号 KR20040110595 申请日期 2004.12.22
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, BO MIN
分类号 H01L21/3065;H01L21/304 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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