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经营范围
发明名称 Semiconductor Device Manufacturing Method
摘要
申请公布号 KR100588640(B1) 申请公布日期 2006.06.12
申请号 KR20030100961 申请日期 2003.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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