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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFERRING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR20060063728(A)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20050117600
申请日期
2005.12.05
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
OGI TATSUYA
分类号
H01L21/677;H01L21/02
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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