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发明名称
APPARATUS FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND POLISHING PROCESS USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100591131(B1)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20040113153
申请日期
2004.12.27
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, DAE YOUNG
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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