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经营范围
发明名称
DISK FARADAY OF A ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
KR100588687(B1)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20020061531
申请日期
2002.10.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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