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发明名称 SHIELD FOR TIN SPUTTERING PROCESS AND COATING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100591433(B1) 申请公布日期 2006.06.12
申请号 KR20040115165 申请日期 2004.12.29
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, KYO JUN
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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