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发明名称
AN APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING MARK DEFECTS AND METHOD FOR MANUFACTURING A PHOTOMASK
摘要
申请公布号
KR20060063732(A)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20050117853
申请日期
2005.12.06
申请人
HOYA CORPORATION
发明人
TANAKA JUNICHI
分类号
H01L21/027;G01B11/30;G01N21/956;G03F1/84
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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