SPUTTERING APPARATUS AND COOLING METHOD USING THE SAME,申请号KR20040100748-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SPUTTERING APPARATUS AND COOLING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR20060062049(A)	申请公布日期	2006.06.12
申请号	KR20040100748	申请日期	2004.12.03
申请人	LG.PHILIPS LCD CO., LTD.	发明人	KIM, SUNG EUN
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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