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发明名称
METHOD FOR FORMING METAL WIRING IN SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE THEREFORE
摘要
申请公布号
KR100591185(B1)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20040111572
申请日期
2004.12.23
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, SEOK SU
分类号
H01L21/3205
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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