发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR20060063683(A) 申请公布日期 2006.06.12
申请号 KR20050116310 申请日期 2005.12.01
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 ASANO TORU;TORIYAMA YUKIO;TAGUCHI TAKASHI;MITSUHASHI TSUYOSHI;KANEYAMA KOJI;OKUMURA TSUYOSHI
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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