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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR20060063683(A)
申请公布日期
2006.06.12
申请号
KR20050116310
申请日期
2005.12.01
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
发明人
ASANO TORU;TORIYAMA YUKIO;TAGUCHI TAKASHI;MITSUHASHI TSUYOSHI;KANEYAMA KOJI;OKUMURA TSUYOSHI
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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