| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области технологии тонких пленок, а более конкретно к системам контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации. В основу полезной модели положена задача повысить чувствительность системы. Эта задача решается тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.</p> |
