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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100588927(B1) 申请公布日期 2006.06.09
申请号 KR20010012577 申请日期 2001.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/30;G03F7/32 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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