ETCHING EQUIPMENT OF MULTI CHAMBER TYPE,申请号KR20040100623-传众专利搜索

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发明名称	ETCHING EQUIPMENT OF MULTI CHAMBER TYPE
摘要
申请公布号	KR20060061985(A)	申请公布日期	2006.06.09
申请号	KR20040100623	申请日期	2004.12.02
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	JANG, KWANG YOUNG
分类号	H01L21/306;H01L21/02	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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