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Die vorliegende Erfindung betrifft ein hohles laminiertes piezoelektrisches Element mit hervorragender Haltbarkeit und Zuverlässigkeit, das zur Erlangung einer hohen Ausgangsleistung geeignet ist, sowie ein Herstellungsverfahren für das hohle laminierte piezoelektrische Element. Ein hohles laminiertes piezoelektrisches Element 1 weist ein Keramiklaminat 10 auf, das durch alternierende Beschichtung von piezoelektrischen Schichten 11, die aus einem piezoelektrischen Material bestehen, und internen Elektrodenschichten 21 und 22 mit Leitfähigkeit gebildet wird sowie eine mittlere Durchgangsöffnung 14 hat, die so ausgebildet ist, daß sie durch das Keramiklaminat 10 entlang einer Laminierungsrichtung verläuft. Das Keramiklaminat 10 hat am Innenumfang eine intern abgeschlossene Struktur, wobei zumindest ein Abschnitt der Innenumfangsenden der Elektrodenschichten 21 und 22 innerhalb des Keramiklaminats 10 abgeschlossen ist, so daß zumindest ein Abschnitt der Innenumfangsenden der Elektrodenschichten 21 und 22 nicht der Innenumfangsfläche 104 des Keramiklaminats 10 ausgesetzt ist. Die Innenumfangsfläche 104 des Keramiklaminats 10 hat Innenumfangsschlitze 13 mit Einschnitten, die in die umlaufende Richtung von der Innenumfangsfläche 104 hin zur Innenseite der piezoelektrischen Schichten 11 bereitgestellt sind. |
