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发明名称 PARALLELPLATTE ZUR ENTWICKLUNG MIT DER VERWENDUNG EINER DIFFERENZSPANNUNG
摘要
申请公布号 DE60119363(D1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 DE20016019363 申请日期 2001.10.23
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 TEMPLETON, K. DR.
分类号 H01L21/00;G03F7/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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