发明名称 METHOD OF FABRICATING THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR100588174(B1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20030056368 申请日期 2003.08.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/786 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址