| 发明名称 |
Transportvorrichtung und Transportsteuerverfahren für eine dünne Platte |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112004001210(T5) |
申请公布日期 |
2006.06.08 |
| 申请号 |
DE200411001210 |
申请日期 |
2004.07.02 |
| 申请人 |
RORZE CORP., HIROSHIMA |
发明人 |
SAKATA, KATSUNORI;OKUTSU, HIDEKZU;FUJII, SEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/68;B25J9/02;B25J9/04;B25J9/06;B25J13/08;B25J18/00;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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