发明名称 TUBULAR SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 KR20060061886(A) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20050108435 申请日期 2005.11.14
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 MARTIN WEIGERT;MARKUS SCHULTHEIS;MARTIN SCHLOTT;CHRISTOPH SIMONS
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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