摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transfervorrichtung eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements, bei der ein Abstand zwischen jedem Kopf von Aufnehmerköpfen auf einen gewünschten diskreten Abstand eingestellt werden kann, ohne eine Nockenplatte auszutauschen. DOLLAR A Die Transfervorrichtung eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements weist einen Basisteil, mehrere Aufnehmerköpfe, die beweglich horizontal an dem Basisteil befestigt sind, um die Halbleiter zu halten/zu lösen, eine Nockenplatte, die beweglich an dem Basisteil befestigt ist, mehrere darin geneigt gebildete Nockenrillen und Verbindungsteile auf, wobei jede erste Seite davon an jedem Aufnehmerkopf befestigt ist und jede zweite Seite davon relativ beweglich mit jeder Nockenrolle verbunden ist, wodurch jeder Aufnehmerkopf mit jeder Nockenrille verbunden ist, und eine Antriebseinheit für das Hin- und Herbewegen der Nockenplatte, so dass die Aufnehmerköpfe in eine diskrete Position des Basisteils verändert werden können.
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