发明名称 Überführungsvorrichtung eines Handlers zum Testen einer Halbleitervorrichtung
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transfervorrichtung eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements, bei der ein Abstand zwischen jedem Kopf von Aufnehmerköpfen auf einen gewünschten diskreten Abstand eingestellt werden kann, ohne eine Nockenplatte auszutauschen. DOLLAR A Die Transfervorrichtung eines Handlers zum Testen eines Halbleiterbauelements weist einen Basisteil, mehrere Aufnehmerköpfe, die beweglich horizontal an dem Basisteil befestigt sind, um die Halbleiter zu halten/zu lösen, eine Nockenplatte, die beweglich an dem Basisteil befestigt ist, mehrere darin geneigt gebildete Nockenrillen und Verbindungsteile auf, wobei jede erste Seite davon an jedem Aufnehmerkopf befestigt ist und jede zweite Seite davon relativ beweglich mit jeder Nockenrolle verbunden ist, wodurch jeder Aufnehmerkopf mit jeder Nockenrille verbunden ist, und eine Antriebseinheit für das Hin- und Herbewegen der Nockenplatte, so dass die Aufnehmerköpfe in eine diskrete Position des Basisteils verändert werden können.
申请公布号 DE102005036978(A1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 DE200510036978 申请日期 2005.08.05
申请人 MIRAE CORP. 发明人 HAM, CHUL HO;LIM, WOO YOUNG;PARK, YOUNG GEUN;SONG, HO KEUN
分类号 G01R31/28;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/68 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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