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发明名称
Kontaktbelichtungsvorrichtung mit Mittel zum Einstellen eines Abstands zwischen Maske und Werkstück
摘要
申请公布号
DE60027665(D1)
申请公布日期
2006.06.08
申请号
DE20006027665
申请日期
2000.10.23
申请人
USHIODENKI K.K.
发明人
OKADA, SYOICHI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H05K1/00;H05K3/00;H05K3/06
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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