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发明名称 IMPEDANZ-SPANNUNGSWANDLER
摘要
申请公布号 DE69931104(D1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 DE19996031104 申请日期 1999.01.14
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO;HOKUTO ELECTRONICS, INC. 发明人 HIROSHIMA, TATSUO;NAKANO, KOICHI;HARADA, MUNEO;MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HIROTA, YOSHIHIRO
分类号 G01R27/26;G01D5/24;G01N27/22 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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