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发明名称
Verfahren und vorrichtung für die optische Inspektion von Objekten auf einem Substrat
摘要
申请公布号
DE69926659(T2)
申请公布日期
2006.06.08
申请号
DE19996026659T
申请日期
1999.12.14
申请人
MYDATA AUTOMATION AB
发明人
BOSTROEM, GUNNAR;JOHANNESSON, MATTIAS;SANDGREN, SIMON;AHLEN, HANS
分类号
G01B11/02;G01B11/04;G01N21/89;G01N21/956;G06T1/00;H01L21/52
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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