| 发明名称 |
Reaktor zur Herstellung einer Halbleiteranordnung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60027686(D1) |
申请公布日期 |
2006.06.08 |
| 申请号 |
DE20006027686 |
申请日期 |
2000.01.24 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG |
发明人 |
TOGNETTI, MARCEL |
| 分类号 |
H01L21/00;C23C16/44;C30B25/08 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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