发明名称 METHOD FOR MONITORING DEFECT OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060061703(A) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20040100520 申请日期 2004.12.02
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JIE, SEOK HO;JUN, BUM JIN
分类号 H01L21/304;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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