| 摘要 |
Es ist eine Teilungseinrichtung für ein rechteckförmiges Substrat vorgesehen, welche ein rechteckförmiges Substrat in einem kleineren Raum teilen, Vorrichtungen bzw. Bauelemente, die als einzelne Teile durch die Teilung gebildet sind, in Vorrichtungsgehäusen unterbringen und die Vorrichtungen zuverlässig und effizient von einem Schutzband aufnehmen kann, das an der Rückseite des rechteckförmigen Substrats befestigt ist. Diese Einrichtung teilt ein rechteckförmiges Substrat, an dessen Rückseite ein Schutzband befestigt ist und an dem eine Mehrzahl von Vorrichtungen durch ein Gitter von geplanten Teilungslinien unterteilt ist, entlang der geplanten Teilungslinien, um das rechteckförmige Substrat in die einzelnen Vorrichtungen zu teilen, und bringt die Vorrichtungen in Vorrichtungsgehäusen unter. In einer auf Schneiden ansprechbaren Region wird das rechteckförmige Substrat aus Kassetten herausgetragen, durch ein Schneidmittel geschnitten und sodann durch ein Reinigungsmittel gereinigt. In einer auf Bandablösung ansprechbaren Region werden die Vorrichtungen aufgenommen, wobei das Schutzband abgelöst wird. In einer auf eine Vorrichtungsunterbringung ansprechbaren Region werden die aufgenommenen, einzelnen Vorrichtungen in Vorrichtungsgehäusen untergebracht. |
