Einrichtung zur Spalteinstellung

摘要

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Einrichtung zur Spalteinstellung zwischen zwei Elementen einer relativ planaren, mikromechanischen Struktur zu entwickeln, bei der kein elektrisches Feld notwendig ist, um das bewegliche Element gegen ein anderes Element vorzuspannen. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass das eine Element (1, 8, 11, 12) gegen das andere Element (2, 9, 13) mittels mindestens einer Feder (3) zugestellt wird, wobei die Feder an mindestens einer Einspannstelle (6) befestigt ist sowie über eine innere Vorspannung verfügt, die aus einer Beschichtung des Grundmaterials der Feder (3) resultiert und in eine Längenänderung zwecks Spalteinstellung freigesetzt wird.