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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer elektrischen Entladevorrichtung (12) mit mindestens einer ersten Elektrode (14) und mindestens einer davon beabstandeten zweiten Elektrode (16), welche mit einer Spannungsversorgung (18) elektrisch verbunden werden und beim Zünden einer ersten Gasentladung (22) zwischen den Elektroden (14, 16) einen elektrischen Strom (I) übertragen, wodurch ein Plasma (24) in einem Arbeitsgas (26) erzeugt wird, das Strahlung (28) insbesondere extrem ultraviolette und/oder weiche Röntgenstrahlung aussendet, die über einen Raumwinkel (30) in einen Raum (32) außerhalb von den Elektroden (14, 16) geleitet wird. DOLLAR A Es wird zur Vermeidung von Erosion an den Elektroden (14, 16) vorgeschlagen, dass die Bildung eines Sekundärplasmas (34) in dem Raum (32) unterdrückt wird.
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