摘要 |
Die Erfindung betrifft den Schichtaufbau von Elektrodenstrukturen eines mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelements. Die Elektrodenstrukturen sind dabei durch eine dielektrische Schicht (4) mit einer akustischen Impedanz Z¶a,d¶ bedeckt. Der Schichtaufbau der Elektrodenstrukturen umfasst ein erstes Schichtsystem, das aus mindestens einer ersten Schicht (31, 32) aus einem ersten Material besteht, in dem die akustische Impedanz kleiner als 2Z¶a,d¶ ist, sowie ein zweites Schichtsystem, das aus mindestens einer zweiten Schicht (21, 22, 23) aus einem zweiten Material besteht, in dem die akustische Impedanz den Wert 2Z¶a,d¶ übersteigt. Der relative Anteil der Gesamtdicke des zweiten Schichtsystems, bezogen auf die Gesamthöhe des Mehrschichtaufbaus, beträgt zwischen 15% und 85%.
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