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发明名称 Sealing apparatus of line mounting on heater block of process chamber for manufacturing semiconductor
摘要
申请公布号 KR100587681(B1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20040032100 申请日期 2004.05.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00;H05B1/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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