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发明名称 GAS DISTRIBUTION PLATE ASSEMBLY FOR PROVIDING LAMINAR GAS FLOW ACROSS THE SURFACE OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100587629(B1) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20010022637 申请日期 2001.04.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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