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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Sondennadeln einer Testsondenvorrichtung
摘要
申请公布号 DE10237283(B4) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 DE20021037283 申请日期 2002.08.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, BYOUNG-JOO;HWANG, IN-SEOK;LEE, HO-YEOL;BYUN, SOO-MIN;KIM, HYUNG-KOO;JI, JOON-SU
分类号 G01R1/06;G01R31/28;B08B1/00;B24B19/16;B81B1/00;G01R3/00;H01L21/304;H01L21/66;H01R11/18;H01R43/00 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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