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经营范围
发明名称
SIMULATION METHOD FOR MEMS DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060061428(A)
申请公布日期
2006.06.08
申请号
KR20040100151
申请日期
2004.12.02
申请人
SANAYI SYSTEM CO., LTD.
发明人
WON, TAE YOUNG;YOON, SUK IN
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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