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发明名称
METHOD FOR FORMING METAL WIRING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100587594(B1)
申请公布日期
2006.06.08
申请号
KR20020040780
申请日期
2002.07.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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