静电吸引驱动装置

摘要

本发明提供一种能够选择进行粗进给驱动和微进给驱动、并且能够抑制速度变动的幅度来提高移动速度的平滑性的静电吸引驱动装置。如果以从ST1到ST7的顺序将驱动信号分别赋予由(A)相至(H)相电极构成的8相电极(23)，则具有电极(33a、33b)的可动子侧从PO1状态开始朝向PO1’状态逐渐沿Y1方向移动。此时，可动子的平均速度v1(ave)为图8B的∑V1所示的实线，所以能够将速度变动的幅度抑制得较低，能够提高移动速度的平滑性(匀速性)。此外，如果以预定的组合将驱动信号赋予由A相至D相电极构成的4相电极(23)，则每1步骤的移动距离延长，能够进行粗进给驱动。

主权项

1、一种静电吸引驱动装置，具有：固定子，具有由排列的多个电极构成的固定子侧电极组；可动子，具有由与形成上述固定子侧电极组的各个电极对置的多个电极构成的可动子侧电极组、并且在预定的移动方向上被移动自如地设置着；导引机构，在上述移动方向上导引上述可动子；驱动信号供给机构，生成由预定的相数构成的驱动信号、并且将该驱动信号施加到上述固定子侧电极组和可动子侧电极组之间；其特征在于，上述固定子侧电极组与可动子侧电极组中的一个电极组，使电极与间隙沿着上述移动方向以相互相等的长度尺寸交错排列；另一个电极组具有形成第1组的电极与间隙、以及形成第2组的电极与间隙，并且使上述第1组和第2组沿着移动方向交错排列。