| 发明名称 | 基板吸附装置 | ||
| 摘要 | 在壳体(1)的开口部(1b)内的管部件(15)上载置吸附基座(16)，该吸附基座(16)设有吸附部(16a)以及与壳体(1)的开口部内壁至少在三点上进行点接触的、弯曲形成为半球面状的接触面部(16c)，该吸附基座(16)和滑动部件(9)之间架设有细丝(24)。 | ||
| 申请公布号 | CN1784779A | 申请公布日期 | 2006.06.07 |
| 申请号 | CN200480012097.2 | 申请日期 | 2004.04.26 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 林贵人;平户功二;木下齐;城崎修哉 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);B25J15/06(2006.01);B65G49/06(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1、一种基板吸附装置，其特征在于，包括：壳体，其形成为中空状，并在一端具有开口部；吸附基座支撑部件，其设置在所述壳体的所述中空形状内，并且设有抽吸空气的空气引导通路；吸附基座，，其在从所述壳体的所述开口部突出的状态下被载置在所述吸附基座支撑部件上，与所述壳体的所述开口部至少在三点上进行点接触，并能够摆头，并且设有与所述空气引导通路气密地连通的空气抽吸孔；以及吸附基座保持装置，将所述吸附基座保持在所述壳体的所述开口部。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||