微电子用材料或钎焊接头高温蠕变应变测试装置

摘要

一种测定微电子用材料及钎焊接头高温蠕变应变的测试装置，属材料性能测试领域，在不同温度和载荷下，对蠕变变形及蠕变过程中的组织变化可实时观察拍照。由装置主体和外围设备两大部分构成，装置主体按由上到下的顺序由加热装置、试样及载荷、加载支撑、显微成像拍摄装置构成，加热装置与温度控制仪相连，安放在加载机架10上表面；显微成像拍摄装置由金相显微镜、定时拍功能的相机6及套筒2组成；加载支撑由位置调节固定机构9和加载机架10组成；外围设备由稳压电源、温度控制仪及热电偶构成，其连接如下：稳压电源分别温度控制仪及显微成像拍摄装置相连；温度控制仪有两组输出端，一组输出端通过热电偶与试样焊接，另一组输出端与加热装置相连。

主权项

1、微电子用材料或钎焊接头高温蠕变应变测试装置，其特征在于，它由装置主体和外围设备两大部分构成，装置主体按照由上到下的顺序由加热装置、试样及载荷、加载支撑、显微成像拍摄装置构成，其中外围设备由稳压电源、温度控制仪及热电偶构成，加载支撑由位置调节固定机构(9)和加载机架(10)组成；装置主体中的加热装置与外围设备中的温度控制仪相连，安放在加载机架(10)上表面；其中显微成像拍摄装置由金相显微镜、具有定时拍功能的相机(6)及套筒(2)组成；稳压电源分别与温度控制仪及装置主体中的显微成像拍摄装置相连；温度控制仪有两组输出端，一组输出端通过热电偶与试样焊接，另一组输出端与加热装置相连。