| 发明名称 |
LASER ASSISTED DIRECT IMPRINT LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1485944(A4) |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
| 申请号 |
EP20030723766 |
申请日期 |
2003.03.17 |
| 申请人 |
PRINCETON UNIVERSITY OFFICE OF TECHOLOGY LICENSING & I.P. |
发明人 |
CHOU, STEPHEN, Y. |
| 分类号 |
G03F7/00;H01L21/027;H01L21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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