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经营范围
发明名称
Wafer cassette locking system and locking method thereof
摘要
申请公布号
KR100586534(B1)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
KR20030071219
申请日期
2003.10.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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