气相流体运送系统以及该系统中的流体加热注入装置

摘要

一种气相流体运送系统的加热注入装置，其包含一惰性气体洁净组件及一流体加热装置。惰性气体洁净组件至少包含一注入器、一三向阀门、一排气用分支管道及一洁净气体供应部，且此三向阀门用以连接洁净气体供应部、注入器及排气用分支管道。液态材料由注入器注入一气体通道中，此外洁净气体供应部提供洁净气体用以喷吹洁净残存于注入器内的液态材料，以避免聚合作用的产生。流体加热装置用于调整温度至所需加热温度，并且可更快速有效率地加热并稳定温度于整个反应中。

主权项

1.一种气相流体运送系统，其特征在于，包括：一注入器，是用以将一液态材料气雾化以注入气相流体运送系统中；一洁净气体供应部，是用以提供一洁净气体，以洁净残留于注入器内的该液态材料；一第一三向阀门，该第一三向阀门用以连通液态材料、洁净气体供应部及注入器；一分支管道，它安装于注入器下方，且由洁净气体供应部所喷吹出的洁净气体是经由分支管道排出气相流体运送系统；一流体加热装置，它设置在洁净气体供应部与分支管道之间，用以加热乘载气体。