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发明名称
VOLTAGE NON-UNIFORMITY COMPENSATION METHOD FOR HIGH FREQUENCY PLASMA REACTOR FOR THE TREATMENT OF RECTANGULAR LARGE AREA SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP1665323(A2)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
EP20040761903
申请日期
2004.09.08
申请人
UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
SCHMITT, JACQUES;SANSONNENS, LAURENT;ELYAAKOUBI, MUSTAPHA;IRZYK, MICHAEL
分类号
C23C16/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
C23C16/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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