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发明名称 IMPRINT LITHOGRAPHY TEMPLATES HAVING ALIGNMENT MARKS
摘要
申请公布号 EP1664925(A2) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20040809756 申请日期 2004.09.16
申请人 THE BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 发明人 BAILEY, TODD C.;JOHNSON, STEPHEN C.;COLBURN, MATTHEW E.;CHOI, BYUNG J.;SMITH, BRITAIN J.;EKERDT, JOHN G.;WILLSON, CARLTON G.;SREENIVASAN, SIDLGATA V.
分类号 G03F7/00;G03F;G03F9/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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