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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTION OF VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION
摘要
申请公布号 EP1664691(A1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20040786908 申请日期 2004.09.03
申请人 THERMO ELECTRON CORPORATION 发明人 VINCENT, FRANCOIS;CABRAS, ANTONIO
分类号 G01J1/42;G01J3/443;(IPC1-7):G01J1/42 主分类号 G01J1/42
代理机构 代理人
主权项
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