发明名称 |
压电/电致伸缩元件及其制造方法 |
摘要 |
对于每一个压电/电致伸缩元件(18a和18b),电极层(24和26)的端部(24a和26a)从位于压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出。突出的距离(t)小于或等于电极层(24和26)之间的压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。期望突出的距离(t)在0.5μm和 2μm之间。 |
申请公布号 |
CN1784792A |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
申请号 |
CN200480012072.2 |
申请日期 |
2004.06.04 |
申请人 |
日本碍子株式会社 |
发明人 |
池田幸司;柴田和义 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01);H01L41/22(2006.01) |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
1.一种压电/电致伸缩元件,其具有由压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)相互层叠形成相互交叉的梳状结构,其中所述电极层(24和26)的端部(24a和26a)分别从位于所述压电/电致伸缩层(22)和所述电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的所述压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出,所述端部(24a和26a)从所述端面(22a)向外突出的距离(t)小于或等于位于所述电极层(24和26)之间的所述压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。 |
地址 |
日本爱知县 |