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发明名称 ITO THIN-FILM HYDROGEN GAS SENSORS AND THEIR FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100589660(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20050029506 申请日期 2005.04.08
申请人 YOO, KWANG SOO 发明人 YOO, KWANG SOO;KANG, JU HYUN;PARK, SANG HYOUN
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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